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致茂Chroma7505半導(dǎo)體*封裝光學(xué)測量系統(tǒng)

產(chǎn)品簡介

致茂Chroma7505半導(dǎo)體*封裝光學(xué)測量系統(tǒng)
整合白光干涉量測技術(shù),進(jìn)行非破壞性的光學(xué)尺寸量測。
可進(jìn)行待測物之關(guān)鍵尺寸(CD)、Overlay(OVL)及Thickness等量測需求
垂直與水平軸向掃描范圍大,適合各種自動(dòng)量測之應(yīng)用,大量測尺寸達(dá)12吋晶圓
待測物皆不需前處理即可進(jìn)行非破壞且快速的表面形貌量測與分析

產(chǎn)品型號:7505
更新時(shí)間:2024-11-29
廠商性質(zhì):代理商
訪問量:1146
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品牌Chroma/致茂產(chǎn)地類別國產(chǎn)
應(yīng)用領(lǐng)域電子

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致茂Chroma7505半導(dǎo)體*封裝光學(xué)測量系統(tǒng)

主要特色:

  • 整合白光干涉量測技術(shù),進(jìn)行非破壞性的光學(xué)尺寸量測。
  • 可進(jìn)行待測物之關(guān)鍵尺寸(CD)、Overlay(OVL)及Thickness等量測需求
  • 垂直與水平軸向掃描范圍大,適合各種自動(dòng)量測之應(yīng)用,大量測尺寸達(dá)12吋晶圓
  • 待測物皆不需前處理即可進(jìn)行非破壞且快速的表面形貌量測與分析
  • 提供快速自動(dòng)對焦演算法與大面積接圖功能
  • 提供腳本量測功能具備自動(dòng)量測能力
  • 提供量測數(shù)據(jù)資料的存檔功能,供后續(xù)操作人員處理分析使用
  • 本設(shè)備已通過SEMI S2認(rèn)證
  • 可搭配EFEM

Chroma 7505 Series半導(dǎo)體*封裝光學(xué)量測系統(tǒng)主要整合白光干涉量測技術(shù),進(jìn)行非破壞性的12吋晶圓之3D關(guān)鍵尺寸量測??蛇M(jìn)行待測物之關(guān)鍵尺寸(CD)、Overlay(OVL)及Thickness等量測需求,同時(shí)配備電動(dòng)調(diào)整移動(dòng)平臺(tái),可對樣品做自動(dòng)調(diào)平及定位。垂直與水平軸向掃描范圍大,適合各種自動(dòng)量測之應(yīng)用,待測物皆不需前處理即可進(jìn)行非破壞且快速的表面形貌量測與分析,并提供快速自動(dòng)對焦演算法與大面積接圖功能以及腳本量測功能具備自動(dòng)量測能力,此外系統(tǒng)亦提供量測數(shù)據(jù)資料的存檔功能,供后續(xù)操作人員處理分析使用。

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7505 Series半導(dǎo)體*封裝光學(xué)量測系統(tǒng)

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